半导体器件物理常考题型例题详解


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第一部分:能带与有效质量


【题型1】由电阻率/迁移率求本征载流子浓度

题目:室温下本征Ge的电阻率为47 Ω·cm,已知$\mu_n = 3900$ cm²/V·s,$\mu_p = 1900$ cm²/V·s,求本征载流子浓度 $n_i$。

解题过程

本征半导体中 $n_0 = p_0 = n_i$,电导率为:

$$\sigma_i = q n_i (\mu_n + \mu_p)$$

由题意:$\rho_i = 47$ Ω·cm,$\sigma_i = 1/\rho_i$,故:

$$n_i = \frac{1}{q \rho_i (\mu_n + \mu_p)} = \frac{1}{1.602\times10^{-19} \times 47 \times (3900+1900)}$$

$$n_i = \frac{1}{1.602\times10^{-19} \times 47 \times 5800} = \frac{1}{4.368\times10^{-14}} \approx 2.29\times10^{13} \text{ cm}^{-3}$$

✎ 批注:这是最基础的反推题,核心就是 $\sigma = qn_i(\mu_n+\mu_p)$,本征时 $n=p=n_i$。注意单位:迁移率用 cm²/V·s,$q$ 用 C,$\rho$ 用 Ω·cm,结果自动是 cm⁻³。常见错误:忘了 $\mu_n + \mu_p$ 是两者之和,误用单个迁移率。

【题型2】由迁移率求杂质掺入后的电导率和对比倍数

题目:试计算本征Si室温时的电导率。当掺入百万分之一的As后(设杂质全部电离),试计算其电导率。比本征Si的电导率增大了多少倍?
已知:$n_i = 1.5\times10^{10}$ cm⁻³,$\mu_n = 1450$ cm²/V·s,$\mu_p = 500$ cm²/V·s;Si原子浓度 $5.0\times10^{22}$ cm⁻³;掺杂后电子迁移率降为 $\mu_n' = 900$ cm²/V·s。

解题过程

① 本征电导率

$$\sigma_i = qn_i(\mu_n+\mu_p) = 1.602\times10^{-19}\times1.5\times10^{10}\times(1450+500)$$

$$= 1.602\times10^{-19} \times 1.5\times10^{10} \times 1950 = 4.68\times10^{-6} \text{ S/cm}$$

② 掺As浓度

$$N_D = \frac{5.0\times10^{22}}{10^6} = 5.0\times10^{16} \text{ cm}^{-3}$$

③ 掺杂后判断:$N_D \gg n_i$,室温强电离,则:

$$n_0 = N_D = 5.0\times10^{16} \text{ cm}^{-3}$$

$$p_0 = \frac{n_i^2}{N_D} = \frac{(1.5\times10^{10})^2}{5.0\times10^{16}} = 4.5\times10^3 \text{ cm}^{-3} \ll n_0$$

空穴贡献完全可忽略,用新迁移率:

$$\sigma = qn_0\mu_n' = 1.602\times10^{-19} \times 5.0\times10^{16} \times 900 = 7.2 \text{ S/cm}$$

④ 增大倍数

$$\frac{\sigma}{\sigma_i} = \frac{7.2}{4.68\times10^{-6}} = 1.54\times10^6$$

✎ 批注:这道题三个步骤全是高频考点。①本征电导率用 $n_i(\mu_n+\mu_p)$;②掺杂后先判断是否强电离($N_D \gg n_i$),若是直接 $n_0 = N_D$,少子用 $n_i^2/N_D$;③注意掺杂会降低迁移率,题目给出了新值要用新值。倍数悬殊($10^6$量级)说明掺杂对导电性的巨大影响,这正是半导体器件的物理基础。

第二部分:载流子统计分布


【题型3】费米函数概率计算

题目(a):令 $T = 300$ K,计算比费米能级高 $3k_0T$ 的能级被电子占据的概率。

解题过程

$$f(E) = \frac{1}{1+\exp\!\left(\dfrac{E-E_F}{k_0T}\right)} = \frac{1}{1+\exp(3)} = \frac{1}{1+20.09} = \frac{1}{21.09} \approx 4.74\%$$

题目(b):某材料费米能级为6.25 eV,求在低于费米能级0.30 eV处,能态为的概率为1%时的温度。

解题过程

能态为空的概率 = $1 - f(E)$,令其等于1%:

$$1-f(E) = 0.01 \Rightarrow f(E) = 0.99$$

$$0.99 = \frac{1}{1+\exp\!\left(\dfrac{E-E_F}{k_0T}\right)}$$

代入 $E = 6.25 - 0.30 = 5.95$ eV,$E_F = 6.25$ eV:

$$1+\exp\!\left(\frac{5.95-6.25}{k_0T}\right) = \frac{1}{0.99} \approx 1.0101$$

$$\exp\!\left(\frac{-0.30}{k_0T}\right) = 0.0101 \Rightarrow \frac{-0.30}{k_0T} = \ln(0.0101) = -4.595$$

$$k_0T = \frac{0.30}{4.595} = 0.0653 \text{ eV} \Rightarrow T = \frac{0.0653}{8.617\times10^{-5}} \approx 757 \text{ K}$$

✎ 批注:(a)题是"能级比 $E_F$ 高 $3k_0T$",直接代入费米函数,结果约 $5\%$,物理意义是高于费米能级的量子态被占据的概率很小。(b)题是逆向求温度,关键步骤是先从概率求出 $\exp$ 的值,再取对数。注意能态为对应的是 $1-f(E)$,不要与 $f(E)$ 混淆。

【题型4】本征半导体载流子浓度与极限温度计算

题目:已知Ge的 $N_c = 1.05\times10^{19}$ cm⁻³,$N_v = 5.7\times10^{18}$ cm⁻³,300 K时 $E_g = 0.67$ eV,77 K时 $E_g = 0.76$ eV。分别求两个温度下Ge的本征载流子浓度。

解题过程

① 求77 K时的 $N_c$、$N_v$(利用 $N \propto T^{3/2}$):

$$N_c(77) = N_c(300)\left(\frac{77}{300}\right)^{3/2} = 1.05\times10^{19}\times(0.2567)^{3/2}$$

$(0.2567)^{3/2} = 0.2567\times\sqrt{0.2567} = 0.2567\times0.5067 = 0.1301$

$$N_c(77) = 1.05\times10^{19}\times0.1301 = 1.366\times10^{18} \text{ cm}^{-3}$$

$$N_v(77) = 5.7\times10^{18}\times0.1301 = 7.42\times10^{17} \text{ cm}^{-3}$$

② 300 K时 $n_i$

$$n_i(300) = \sqrt{N_c N_v}\exp\!\left(-\frac{E_g}{2k_0T}\right)$$

$$= \sqrt{1.05\times10^{19}\times5.7\times10^{18}}\exp\!\left(-\frac{0.67}{2\times0.026}\right)$$

$$= \sqrt{5.985\times10^{37}}\times\exp(-12.88) = 7.74\times10^{18}\times2.55\times10^{-6}$$

$$= 1.97\times10^{13} \text{ cm}^{-3}$$

③ 77 K时 $n_i$

$$n_i(77) = \sqrt{1.366\times10^{18}\times7.42\times10^{17}}\exp\!\left(-\frac{0.76}{2\times8.617\times10^{-5}\times77}\right)$$

$$= \sqrt{1.014\times10^{36}}\exp\!\left(-\frac{0.76}{0.01327}\right)$$

$$= 1.007\times10^{18}\times\exp(-57.27) = 1.007\times10^{18}\times1.085\times10^{-25}$$

$$\approx 1.09\times10^{-7} \text{ cm}^{-3}$$

✎ 批注:这类题的三个关键步骤:①温度折算 $N \propto T^{3/2}$,不同温度下 $N_c$、$N_v$ 不同;②注意低温下 $E_g$ 也会变化(题目给出了两个温度对应不同的 $E_g$,必须用对应值);③指数部分用 $E_g/(2k_0T)$,注意 $k_0T$ 在77 K时约 $0.00664$ eV,不是0.026 eV。低温下 $n_i$ 会极小($10^{-7}$ cm⁻³ 量级),说明低温下半导体基本不导电,体现了禁带宽度的热激发本质。

【题型5】已知空穴浓度,求电子浓度、导电类型和费米能级位置

题目:室温下(300K)三块硅材料,空穴浓度分别为 $p_1 = 2.25\times10^{16}$ cm⁻³,$p_2 = 1.5\times10^{10}$ cm⁻³,$p_3 = 2.25\times10^4$ cm⁻³。已知 $n_i = 1.5\times10^{10}$ cm⁻³,$N_c = 2.8\times10^{19}$ cm⁻³,$N_v = 1.1\times10^{19}$ cm⁻³。分别求 $n_0$、导电类型、费米能级位置。

解题过程

① 用 $n_0 p_0 = n_i^2$ 求电子浓度

$$n_1 = \frac{n_i^2}{p_1} = \frac{(1.5\times10^{10})^2}{2.25\times10^{16}} = \frac{2.25\times10^{20}}{2.25\times10^{16}} = 1.0\times10^4 \text{ cm}^{-3}$$

$$n_2 = \frac{(1.5\times10^{10})^2}{1.5\times10^{10}} = 1.5\times10^{10} \text{ cm}^{-3}$$

$$n_3 = \frac{(1.5\times10^{10})^2}{2.25\times10^4} = 1.0\times10^{16} \text{ cm}^{-3}$$

② 判断导电类型

  • Si₁:$p_1 \gg n_1$ → p型
  • Si₂:$p_2 = n_2 = n_i$ → 本征
  • Si₃:$n_3 \gg p_3$ → n型

③ 费米能级位置(利用 $E_i - E_F = k_0T\ln(p_0/n_i)$):

室温 $k_0T = 0.026$ eV

Si₁(p型)

$$E_i - E_F = 0.026\times\ln\frac{2.25\times10^{16}}{1.5\times10^{10}} = 0.026\times\ln(1.5\times10^6)$$

$$= 0.026\times14.22 = 0.370 \text{ eV}$$

即 $E_F$ 在禁带中线以下 0.37 eV 处。

Si₂(本征):$E_F = E_i$,在禁带中线处,偏差为0。

Si₃(n型)

$$E_F - E_i = 0.026\times\ln\frac{n_3}{n_i} = 0.026\times\ln\frac{10^{16}}{1.5\times10^{10}} = 0.026\times\ln(6.67\times10^5)$$

$$= 0.026\times13.41 = 0.349 \text{ eV}$$

即 $E_F$ 在禁带中线以上 0.35 eV 处。

✎ 批注:这是综合性的"三合一"题型。核心公式 $n_0p_0 = n_i^2$ 适用于任何非简并、任何掺杂情况。费米能级位置公式有两种等价写法,推荐用 $E_F - E_i = k_0T\ln(n_0/n_i)$(n型为正,p型为负)统一记忆,不容易搞混正负号。注意:Si₂是本征时 $p_2 = n_2 = n_i$,正好作为对照。

【题型6】含补偿杂质的载流子浓度与费米能级

题目:室温下含施主 $N_D = 9\times10^{15}$ cm⁻³、受主 $N_A = 1.1\times10^{16}$ cm⁻³ 的Si,求 $n_0$、$p_0$ 和费米能级位置。($n_i = 1.5\times10^{10}$ cm⁻³,$N_c = 2.8\times10^{19}$ cm⁻³,$N_v = 1.1\times10^{19}$ cm⁻³)

解题过程

① 判断类型:$N_A - N_D = 2\times10^{15}$ cm⁻³ $\gg n_i$,为p型,强电离区(杂质全部电离)

② 利用电中性条件(全电离时 $N_A = N_D + p_0$):

$$p_0 = N_A - N_D = 1.1\times10^{16} - 9\times10^{15} = 2\times10^{15} \text{ cm}^{-3}$$

③ 求 $n_0$

$$n_0 = \frac{n_i^2}{p_0} = \frac{(1.5\times10^{10})^2}{2\times10^{15}} = \frac{2.25\times10^{20}}{2\times10^{15}} = 1.125\times10^5 \text{ cm}^{-3}$$

④ 费米能级位置

$$E_F = E_v + k_0T\ln\frac{N_v}{p_0} = E_v + 0.026\times\ln\frac{1.1\times10^{19}}{2\times10^{15}}$$

$$= E_v + 0.026\times\ln(5500) = E_v + 0.026\times8.613 = E_v + 0.224 \text{ eV}$$

即 $E_F$ 在价带顶以上 0.224 eV 处。

✎ 批注:补偿杂质题关键是判断哪种杂质占主导,然后用净浓度 $|N_A - N_D|$ 代替单一掺杂浓度参与计算。费米能级的计算可以从 $E_v$ 出发(p型)也可以从 $E_i$ 出发,两种方式等价,选熟悉的用。迁移率警告:补偿材料的载流子浓度用净浓度,但迁移率决定于总电离杂质浓度 $N_D + N_A$,这两个不一样。

【题型7】过渡区联立方程求解(高温本征激发)

题目:n型Si,施主浓度 $N_D = 1.5\times10^{14}$ cm⁻³,试计算500 K时的 $n_0$ 和 $p_0$。(由图查得500 K时Si的 $n_i = 3.5\times10^{14}$ cm⁻³)

解题过程

500 K时 $n_i = 3.5\times10^{14}$ cm⁻³ 与 $N_D = 1.5\times10^{14}$ cm⁻³ 量级相当,处于过渡区,必须联立求解。

建立方程组:

$$\begin{cases}n_0 = N_D + p_0 & \text{(电中性条件)}\\n_0 p_0 = n_i^2 & \text{(质量作用定律)}\end{cases}$$

代入得:$n_0(n_0 - N_D) = n_i^2$,即:

$$n_0^2 - N_D n_0 - n_i^2 = 0$$

$$n_0 = \frac{N_D + \sqrt{N_D^2 + 4n_i^2}}{2}$$

代入数值:

$$n_0 = \frac{1.5\times10^{14} + \sqrt{(1.5\times10^{14})^2 + 4\times(3.5\times10^{14})^2}}{2}$$

$$= \frac{1.5\times10^{14} + \sqrt{2.25\times10^{28} + 49\times10^{28}}}{2}$$

$$= \frac{1.5\times10^{14} + \sqrt{51.25\times10^{28}}}{2} = \frac{1.5\times10^{14} + 7.159\times10^{14}}{2}$$

$$n_0 = \frac{8.659\times10^{14}}{2} \approx 4.33\times10^{14} \text{ cm}^{-3}$$

$$p_0 = \frac{n_i^2}{n_0} = \frac{(3.5\times10^{14})^2}{4.33\times10^{14}} = \frac{12.25\times10^{28}}{4.33\times10^{14}} \approx 2.83\times10^{14} \text{ cm}^{-3}$$

验证:$n_0 - p_0 = 4.33\times10^{14} - 2.83\times10^{14} = 1.5\times10^{14} = N_D$ ✓

✎ 批注:这是最容易在考试中失分的题型。判断依据是 $N_D$ 与 $n_i$ 量级相当(通常在2倍以内)时才需要用联立方程。根号公式要记住取正根(舍去负根)。验证方法是检查 $n_0 - p_0 = N_D$,非常好用。如果 $N_D \gg n_i$(超过10倍),直接取 $n_0 = N_D$ 就够了。

第三部分:半导体导电性


【题型8】已知补偿掺杂,求电导率和电场强度

题目:Ge中掺施主 $N_D = 10^{14}$ cm⁻³,受主 $N_A = 7\times10^{13}$ cm⁻³。室温本征锗电阻率 $\rho_i = 60$ Ω·cm,$\mu_n = 3800$,$\mu_p = 1800$ cm²/V·s。若流过电流密度 $J = 52.3$ mA/cm²,求所加电场强度。

解题过程

① 求 $n_i$(从本征电阻率反推):

$$n_i = \frac{1}{q\rho_i(\mu_n+\mu_p)} = \frac{1}{1.602\times10^{-19}\times60\times(3800+1800)}$$

$$= \frac{1}{1.602\times10^{-19}\times60\times5600} = \frac{1}{5.383\times10^{-14}} \approx 1.86\times10^{13} \text{ cm}^{-3}$$

② 求 $n_0$、$p_0$(电中性 + 质量作用定律):

$$\begin{cases}p_0 + N_D = n_0 + N_A\\n_0 p_0 = n_i^2 = (1.86\times10^{13})^2 = 3.46\times10^{26}\end{cases}$$

由第一式:$n_0 - p_0 = N_D - N_A = 10^{14} - 7\times10^{13} = 3\times10^{13}$

联立:$n_0^2 - 3\times10^{13}n_0 - 3.46\times10^{26} = 0$

$$n_0 = \frac{3\times10^{13} + \sqrt{(3\times10^{13})^2 + 4\times3.46\times10^{26}}}{2}$$

$$= \frac{3\times10^{13} + \sqrt{9\times10^{26} + 13.84\times10^{26}}}{2} = \frac{3\times10^{13} + \sqrt{22.84\times10^{26}}}{2}$$

$$= \frac{3\times10^{13} + 4.779\times10^{13}}{2} \approx \frac{7.779\times10^{13}}{2} = 3.89\times10^{13} \text{ cm}^{-3}$$

$$p_0 = \frac{n_i^2}{n_0} = \frac{3.46\times10^{26}}{3.89\times10^{13}} = 8.89\times10^{12} \text{ cm}^{-3}$$

③ 求电导率

$$\sigma = q(n_0\mu_n + p_0\mu_p) = 1.602\times10^{-19}\times(3.89\times10^{13}\times3800 + 8.89\times10^{12}\times1800)$$

$$= 1.602\times10^{-19}\times(1.478\times10^{17} + 1.600\times10^{16})$$

$$= 1.602\times10^{-19}\times1.638\times10^{17} = 2.625\times10^{-2} \text{ S/cm}$$

④ 求电场强度

$$E = \frac{J}{\sigma} = \frac{52.3\times10^{-3}}{2.625\times10^{-2}} \approx 1.99 \text{ V/cm}$$

✎ 批注:这类题步骤多,逻辑层层递进。关键思路链:$\rho_i \rightarrow n_i \rightarrow$ 联立求 $n_0,p_0 \rightarrow \sigma \rightarrow E = J/\sigma$。这里 $N_D$ 与 $n_i$ 量级相近($10^{14}$ vs $10^{13}$),必须联立方程,不能直接令 $n_0 = N_D$。注意单位:$J$ 用 A/cm²,$\sigma$ 用 S/cm,则 $E$ 单位为 V/cm。

【题型9】最小电导率

题目:证明当 $n = n_i\sqrt{\mu_p/\mu_n}$ 时电导率最小,并求 $\sigma_{\min}$。求300K时Ge的最小电导率,并与本征电导率比较。($n_i = 2.5\times10^{13}$ cm⁻³,$\mu_n = 3800$,$\mu_p = 1900$ cm²/V·s)

解题过程

① 证明极值条件

$$\sigma = q(n\mu_n + p\mu_p) = q\left(n\mu_n + \frac{n_i^2}{n}\mu_p\right)$$

对 $n$ 求导并令其为零:

$$\frac{d\sigma}{dn} = q\left(\mu_n - \frac{n_i^2}{n^2}\mu_p\right) = 0$$

$$n^2 = \frac{n_i^2\mu_p}{\mu_n} \Rightarrow \boxed{n = n_i\sqrt{\frac{\mu_p}{\mu_n}}}$$

② 求 $\sigma_{\min}$

代回电导率公式:

$$\sigma_{\min} = q\left(n_i\sqrt{\frac{\mu_p}{\mu_n}}\cdot\mu_n + \frac{n_i^2}{n_i\sqrt{\mu_p/\mu_n}}\cdot\mu_p\right)$$

$$= qn_i\left(\sqrt{\mu_n\mu_p} + \sqrt{\mu_n\mu_p}\right) = 2qn_i\sqrt{\mu_n\mu_p}$$

③ 代入Ge的数值

$$\sigma_{\min} = 2\times1.602\times10^{-19}\times2.5\times10^{13}\times\sqrt{3800\times1900}$$

$$= 2\times1.602\times10^{-19}\times2.5\times10^{13}\times\sqrt{7.22\times10^6}$$

$$= 2\times1.602\times10^{-19}\times2.5\times10^{13}\times2686 = 2.15\times10^{-2} \text{ S/cm}$$

④ 与本征电导率对比

$$\sigma_i = qn_i(\mu_n+\mu_p) = 1.602\times10^{-19}\times2.5\times10^{13}\times5700 = 2.28\times10^{-2} \text{ S/cm}$$

$$\frac{\sigma_{\min}}{\sigma_i} = \frac{2\sqrt{\mu_n\mu_p}}{\mu_n+\mu_p} = \frac{2\times2686}{5700} \approx 0.94$$

✎ 批注:最小电导率总是小于本征电导率(比值 $\leq 1$),这是因为当两种载流子浓度不等时,多子电流的增加超过少子电流的减少。核心结论 $\sigma_{\min} = 2qn_i\sqrt{\mu_n\mu_p}$ 要能直接写出。当 $\mu_n \neq \mu_p$ 时,$\sigma_{\min} < \sigma_i$;当 $\mu_n = \mu_p$ 时,最小点就在本征点,二者相等。

第四部分:非平衡载流子


【题型10】稳态光注入的过剩载流子浓度

题目:用强光均匀照射n型样品,产生率 $g_p$ (cm⁻³/s),空穴寿命为 $\tau$。① 写出方程;② 求稳态过剩载流子浓度。

解题过程

① 非平衡载流子满足的方程(均匀注入,无扩散):

$$\frac{d\Delta p}{dt} = g_p - \frac{\Delta p}{\tau}$$

② 稳态($d\Delta p/dt = 0$):

$$0 = g_p - \frac{\Delta p}{\tau} \Rightarrow \boxed{\Delta p = g_p\tau}$$

题目续:n型Si,寿命 $\tau = 1$ μs,无光照时 $\rho = 10$ Ω·cm(对应 $N_D = 7\times10^{14}$ cm⁻³),产生率 $g_p = 10^{22}$ cm⁻³/s,$\mu_n = 1350$,$\mu_p = 500$ cm²/V·s。求:① 光照下电阻率;② 少子对电导的贡献百分比。

解题过程

① 过剩载流子浓度

$$\Delta p = g_p\tau = 10^{22}\times10^{-6} = 10^{16} \text{ cm}^{-3}$$

② 平衡载流子(室温,全电离):

$$n_0 = N_D = 7\times10^{14} \text{ cm}^{-3}, \quad p_0 = \frac{n_i^2}{n_0} \ll \Delta p$$

③ 光照后总载流子浓度

$$n = n_0 + \Delta n = 7\times10^{14} + 10^{16} \approx 1.07\times10^{16} \text{ cm}^{-3}$$

$$p = p_0 + \Delta p \approx 10^{16} \text{ cm}^{-3}$$

④ 电导率与电阻率

$$\sigma = q(n\mu_n + p\mu_p) = 1.602\times10^{-19}(1.07\times10^{16}\times1350 + 10^{16}\times500)$$

$$= 1.602\times10^{-19}(1.445\times10^{19} + 5\times10^{18}) = 1.602\times10^{-19}\times1.945\times10^{19} = 3.114 \text{ S/cm}$$

$$\rho = \frac{1}{3.114} \approx 0.321 \text{ Ω·cm}$$

(原来 $\rho = 10$ Ω·cm,光照使电阻率下降约 31 倍)

⑤ 少子(空穴)的贡献

$$\text{少子贡献} = \frac{qp\mu_p}{\sigma} = \frac{1.602\times10^{-19}\times10^{16}\times500}{3.114} = \frac{0.801}{3.114} \approx 25.7\%$$

✎ 批注:稳态注入的核心结论 $\Delta p = g_p\tau$ 非常简洁,要能直接写出。注意此题中过剩少子 $\Delta p = 10^{16}$ 比平衡多子 $n_0 = 7\times10^{14}$ 大很多,属于大注入,两种载流子浓度都大幅增加。少子(空穴)虽然迁移率小,但这里浓度与多子(经过注入后的电子)相当,所以贡献了约1/4,不可忽视。

【题型11】准费米能级计算

题目:掺施主 $N_D = 10^{15}$ cm⁻³ 的n型Si,光照后 $\Delta n = \Delta p = 10^{14}$ cm⁻³。求准费米能级位置,并与平衡费米能级比较。($n_i = 7.8\times10^9$ cm⁻³)

解题过程

① 平衡态费米能级(室温,全电离):

$$n_0 = N_D = 10^{15} \text{ cm}^{-3}, \quad p_0 = \frac{n_i^2}{N_D} = \frac{(7.8\times10^9)^2}{10^{15}} = 6.08\times10^4 \text{ cm}^{-3}$$

$$E_F - E_i = k_0T\ln\frac{n_0}{n_i} = 0.026\ln\frac{10^{15}}{7.8\times10^9} = 0.026\ln(1.282\times10^5)$$

$$= 0.026\times11.76 = 0.306 \text{ eV}$$

即平衡时 $E_F = E_i + 0.306$ eV

② 光照后载流子浓度

$$n = n_0 + \Delta n = 10^{15} + 10^{14} = 1.1\times10^{15} \text{ cm}^{-3}$$

$$p = p_0 + \Delta p \approx 10^{14} \text{ cm}^{-3}$$

③ 电子准费米能级(接近平衡 $E_F$):

$$E_{Fn} - E_i = k_0T\ln\frac{n}{n_i} = 0.026\ln\frac{1.1\times10^{15}}{7.8\times10^9} = 0.026\times11.84 = 0.308 \text{ eV}$$

④ 空穴准费米能级(偏离很大):

$$E_i - E_{Fp} = k_0T\ln\frac{p}{n_i} = 0.026\ln\frac{10^{14}}{7.8\times10^9} = 0.026\times9.46 = 0.246 \text{ eV}$$

即 $E_{Fp} = E_i - 0.246$ eV

⑤ 对比

位置(相对 $E_i$)
平衡 $E_F$$+0.306$ eV
电子准费米能级 $E_{Fn}$$+0.308$ eV(几乎不变)
空穴准费米能级 $E_{Fp}$$-0.246$ eV(大幅下移)

$|E_{Fn} - E_{Fp}| = 0.308 + 0.246 = 0.554$ eV,偏离平衡态明显。

✎ 批注:这道题完美体现了准费米能级的物理意义:多子(电子)的 $E_{Fn}$ 与平衡 $E_F$ 几乎重合(因为 $\Delta n \ll n_0$,电子浓度变化极小);少子(空穴)的 $E_{Fp}$ 则从 $+0.306$ eV 大幅移动到 $-0.246$ eV,偏移量超过0.5 eV。这是"小注入时多子准费米能级几乎不变,少子准费米能级变化显著"规律的定量体现。

【题型12】扩散长度与表面注入的扩散电流

题目:电阻率3 Ω·cm的n型Si($\mu_p = 500$ cm²/V·s),空穴寿命 $\tau_p = 5$ μs,表面稳定注入 $(\Delta p)_0 = 10^{13}$ cm⁻³。① 求表面处空穴扩散电流密度;② 距表面多远处过剩空穴浓度等于 $10^{12}$ cm⁻³?

解题过程

① 由爱因斯坦关系求扩散系数

$$D_p = \mu_p\cdot\frac{k_0T}{q} = 500\times0.026 = 13 \text{ cm}^2/\text{s}$$

② 扩散长度

$$L_p = \sqrt{D_p\tau_p} = \sqrt{13\times5\times10^{-6}} = \sqrt{6.5\times10^{-5}} = 8.06\times10^{-3} \text{ cm} = 80.6 \text{ μm}$$

③ 样品足够厚时的分布

$$\Delta p(x) = (\Delta p)_0\exp\!\left(-\frac{x}{L_p}\right)$$

④ 表面处扩散电流密度($x=0$):

$$J_p\big|_{x=0} = -qD_p\frac{d(\Delta p)}{dx}\bigg|_{x=0} = qD_p\frac{(\Delta p)_0}{L_p}$$

$$= 1.602\times10^{-19}\times13\times\frac{10^{13}}{8.06\times10^{-3}} = 1.602\times10^{-19}\times13\times1.241\times10^{15}$$

$$= 2.584\times10^{-3} \text{ A/cm}^2 = 2.58 \text{ mA/cm}^2$$

⑤ 求 $\Delta p = 10^{12}$ cm⁻³ 处的距离

$$10^{12} = 10^{13}\exp\!\left(-\frac{x}{L_p}\right)$$

$$\exp\!\left(-\frac{x}{L_p}\right) = 0.1 \Rightarrow -\frac{x}{L_p} = \ln(0.1) = -2.303$$

$$x = 2.303\times L_p = 2.303\times8.06\times10^{-3} = 1.856\times10^{-2} \text{ cm} \approx 186 \text{ μm}$$

✎ 批注:三步流程:爱因斯坦关系求 $D_p$ → 扩散长度 $L_p = \sqrt{D_p\tau_p}$ → 代入指数衰减公式。注意表面处扩散电流密度公式 $J_p = qD_p(\Delta p)_0/L_p$ 是对指数分布求导后在 $x=0$ 的结果,可以直接记。求距离时取对数即可,$\ln(0.1) = -2.303$,所以 $x = 2.303 L_p$,这意味着浓度降到原来的 $1/10$ 需要 $2.303$ 个扩散长度。

第五部分:pn结


【题型13】pn结势垒高度与耗尽层宽度

题目:硅突变结,n侧 $\rho_n = 10$ Ω·cm,p侧 $\rho_p = 0.01$ Ω·cm,$\mu_n = 1000$,$\mu_p = 300$ cm²/V·s,$n_i = 1.5\times10^{10}$ cm⁻³,$\varepsilon_r = 11.9$,$\varepsilon_0 = 8.85\times10^{-14}$ F/cm。求:① 势垒高度 $V_D$;② 势垒宽度。

解题过程

① 求两侧掺杂浓度(全电离时 $N \approx \sigma/q\mu$):

$$N_D = \frac{1}{\rho_n q\mu_n} = \frac{1}{10\times1.602\times10^{-19}\times1000} = 6.24\times10^{14} \text{ cm}^{-3}$$

$$N_A = \frac{1}{\rho_p q\mu_p} = \frac{1}{0.01\times1.602\times10^{-19}\times300} = 2.08\times10^{18} \text{ cm}^{-3}$$

② 势垒高度

$$V_D = \frac{k_0T}{q}\ln\frac{N_A N_D}{n_i^2} = 0.026\times\ln\frac{2.08\times10^{18}\times6.24\times10^{14}}{(1.5\times10^{10})^2}$$

$$= 0.026\times\ln\frac{1.298\times10^{33}}{2.25\times10^{20}} = 0.026\times\ln(5.77\times10^{12})$$

$$= 0.026\times29.38 = 0.763 \text{ eV}$$

③ 势垒宽度:此为 $p^+n$ 结($N_A \gg N_D$),耗尽层主要在n侧,$x_D \approx x_n$:

$$x_n = \sqrt{\frac{2\varepsilon_r\varepsilon_0 V_D}{qN_D}} = \sqrt{\frac{2\times11.9\times8.85\times10^{-14}\times0.763}{1.602\times10^{-19}\times6.24\times10^{14}}}$$

分子:$2\times11.9\times8.85\times10^{-14}\times0.763 = 1.608\times10^{-13}$

分母:$1.602\times10^{-19}\times6.24\times10^{14} = 9.997\times10^{-5}$

$$x_n = \sqrt{\frac{1.608\times10^{-13}}{9.997\times10^{-5}}} = \sqrt{1.609\times10^{-9}} = 4.01\times10^{-5} \text{ cm} = 0.40 \text{ μm}$$

✎ 批注:先由电阻率算掺杂浓度,这是"逆向"推算,要记住 $N = 1/(\rho q\mu)$。$V_D$ 公式的对数参数是 $N_A N_D/n_i^2$,注意 $n_i^2$,不是 $n_i$。对于 $p^+n$ 结(重掺p侧),耗尽层几乎全在轻掺杂的n侧,所以 $x_D \approx x_n$,用 $N_D$ 代入。常考比较:掺杂浓度高的一侧耗尽层薄,掺杂浓度低的一侧耗尽层厚,总是朝轻掺杂侧延伸。

【题型14】pn结理想I-V特性(肖克莱方程计算)

题目:硅pn结,$N_A = 10^{17}$ cm⁻³,$N_D = 10^{15}$ cm⁻³,$D_p = 10$ cm²/s,$D_n = 25$ cm²/s,$\tau_p = \tau_n = 10^{-7}$ s,$n_i = 1.5\times10^{10}$ cm⁻³,室温。① 求反向饱和电流密度 $J_s$;② 求 $V = +0.5$ V 时的正向电流密度。

解题过程

① 少子平衡浓度

$$p_{n0} = \frac{n_i^2}{N_D} = \frac{(1.5\times10^{10})^2}{10^{15}} = 2.25\times10^5 \text{ cm}^{-3}$$

$$n_{p0} = \frac{n_i^2}{N_A} = \frac{(1.5\times10^{10})^2}{10^{17}} = 2.25\times10^3 \text{ cm}^{-3}$$

② 扩散长度

$$L_p = \sqrt{D_p\tau_p} = \sqrt{10\times10^{-7}} = \sqrt{10^{-6}} = 10^{-3} \text{ cm} = 10 \text{ μm}$$

$$L_n = \sqrt{D_n\tau_n} = \sqrt{25\times10^{-7}} = \sqrt{2.5\times10^{-6}} = 1.581\times10^{-3} \text{ cm}$$

③ 反向饱和电流密度

$$J_s = \frac{qD_p p_{n0}}{L_p} + \frac{qD_n n_{p0}}{L_n}$$

$$= 1.602\times10^{-19}\left(\frac{10\times2.25\times10^5}{10^{-3}} + \frac{25\times2.25\times10^3}{1.581\times10^{-3}}\right)$$

$$= 1.602\times10^{-19}\left(2.25\times10^9 + 3.56\times10^7\right)$$

$$\approx 1.602\times10^{-19}\times2.286\times10^9 = 3.66\times10^{-10} \text{ A/cm}^2$$

(空穴电流项远大于电子电流项,因为 $p_{n0} \gg n_{p0}$)

④ 正向偏压下电流

$$J = J_s\left(e^{qV/k_0T} - 1\right)$$

$$\frac{qV}{k_0T} = \frac{0.5}{0.026} = 19.23$$

$$e^{19.23} = e^{19}\times e^{0.23} \approx 1.785\times10^8\times1.259 = 2.247\times10^8$$

$$J = 3.66\times10^{-10}\times(2.247\times10^8 - 1) \approx 3.66\times10^{-10}\times2.247\times10^8$$

$$= 0.0822 \text{ A/cm}^2 = 82.2 \text{ mA/cm}^2$$

✎ 批注:$J_s$ 计算中,谁的掺杂浓度低,谁的少子浓度就高($p_{n0} = n_i^2/N_D$,$N_D$越小,$p_{n0}$越大),对 $J_s$ 贡献就越大。硅的正向开启电压约0.5-0.6 V,正是因为在这个电压下 $e^{qV/k_0T}$ 才足够大。实用技巧:室温下 $e^{qV/k_0T}$ 当 $V = 0.026\times n$ 时等于 $e^n$,如 $V=0.052$ V时 $e^2 \approx 7.4$,$V=0.104$ V时 $e^4 \approx 55$,$V=0.260$ V时 $e^{10} \approx 2.2\times10^4$。

【题型15】pn结势垒电容

题目:Si突变 $p^+n$ 结,$N_D = 10^{15}$ cm⁻³,面积 $A = 10^{-4}$ cm²,$V_D = 0.76$ V,$\varepsilon_r = 11.9$,$\varepsilon_0 = 8.85\times10^{-14}$ F/cm。求:① 零偏时势垒电容;② 反偏2V时势垒电容;③ 比较并讨论。

解题过程

① 零偏时耗尽层宽度($p^+n$ 结,$N_A \gg N_D$,$x_D \approx x_n$):

$$x_D(0) = \sqrt{\frac{2\varepsilon_r\varepsilon_0 V_D}{qN_D}} = \sqrt{\frac{2\times11.9\times8.85\times10^{-14}\times0.76}{1.602\times10^{-19}\times10^{15}}}$$

$$= \sqrt{\frac{1.601\times10^{-13}}{1.602\times10^{-4}}} = \sqrt{9.994\times10^{-10}} = 3.16\times10^{-5} \text{ cm}$$

② 零偏时电容

$$C_T(0) = \frac{\varepsilon_r\varepsilon_0 A}{x_D} = \frac{11.9\times8.85\times10^{-14}\times10^{-4}}{3.16\times10^{-5}} = \frac{1.053\times10^{-17}}{3.16\times10^{-5}} = 3.33\times10^{-13} \text{ F} = 0.333 \text{ pF}$$

③ 反偏2V时($V = -2$ V,即有效电压 $V_D - V = V_D + |V| = 0.76+2 = 2.76$ V):

$$x_D(V) = x_D(0)\sqrt{\frac{V_D + |V|}{V_D}} = 3.16\times10^{-5}\times\sqrt{\frac{2.76}{0.76}} = 3.16\times10^{-5}\times1.905$$

$$= 6.02\times10^{-5} \text{ cm}$$

$$C_T(V) = \frac{\varepsilon_r\varepsilon_0 A}{x_D(V)} = \frac{1.053\times10^{-17}}{6.02\times10^{-5}} = 1.749\times10^{-13} \text{ F} = 0.175 \text{ pF}$$

也可以用比例关系:$C_T(V) = C_T(0)\sqrt{V_D/(V_D+|V|)} = 0.333\times\sqrt{0.76/2.76} = 0.333\times0.524 = 0.175$ pF

④ 讨论:反偏2V后电容从0.333 pF降至0.175 pF,下降约48%。利用此特性可制作变容二极管,通过调节反偏电压调节电容。

✎ 批注:势垒电容公式可以用两种方法:① 先算 $x_D$ 再用 $C = \varepsilon A/x_D$;② 直接用 $C = A\sqrt{q\varepsilon N/(2(V_D-V))}$(对于单侧突变结)。两种方法等价,① 更直观,② 更紧凑。注意正偏时 $V > 0$,$(V_D - V)$ 减小,$x_D$ 减小,$C$ 增大(正偏下势垒电容变大,但此时扩散电容更起主导作用)。

第六部分:金属-半导体接触


【题型16】肖特基势垒高度与内建电势差

题目:金属Pt($\phi_m = 5.65$ eV)与n型Si($\chi = 4.01$ eV,$N_D = 10^{16}$ cm⁻³)接触,室温。① 求理想肖特基势垒高度 $\phi_{B0}$;② 求内建电势差 $V_{bi}$;③ 求零偏时耗尽层宽度。($\varepsilon_r = 11.9$,$n_i = 1.5\times10^{10}$ cm⁻³)

解题过程

① 肖特基势垒高度

$$\phi_{B0} = \phi_m - \chi = 5.65 - 4.01 = 1.64 \text{ eV}$$

② 半导体侧 $\phi_n$(费米能级距导带底的能量,以eV计):

$$\phi_n = \frac{E_c - E_F}{q} = \frac{k_0T}{q}\ln\frac{N_c}{N_D} = 0.026\times\ln\frac{2.8\times10^{19}}{10^{16}} = 0.026\times8.238 = 0.214 \text{ eV}$$

③ 内建电势差

$$V_{bi} = \phi_{B0} - \phi_n = 1.64 - 0.214 = 1.426 \text{ eV} \approx 1.43 \text{ V}$$

④ 耗尽层宽度

$$W = \sqrt{\frac{2\varepsilon_r\varepsilon_0 V_{bi}}{qN_D}} = \sqrt{\frac{2\times11.9\times8.85\times10^{-14}\times1.43}{1.602\times10^{-19}\times10^{16}}}$$

$$= \sqrt{\frac{3.008\times10^{-13}}{1.602\times10^{-3}}} = \sqrt{1.878\times10^{-10}} = 1.37\times10^{-5} \text{ cm} = 0.137 \text{ μm}$$

✎ 批注:肖特基势垒 $\phi_{B0} = \phi_m - \chi$ 是金属功函数减去半导体电子亲和能(不是半导体功函数)。$\phi_n$ 反映了半导体内费米能级距导带底的距离,掺杂越重,$E_F$ 越靠近导带,$\phi_n$ 越小,$V_{bi}$ 越小。实际势垒高度受镜像力和界面态影响,会略有偏差,考题一般不涉及修正计算。

第七部分:综合计算题


【题型17】完整的温区判断 + 载流子浓度计算

题目:已知 $N_c = 1.05\times10^{19}$ cm⁻³(300K),$N_v = 5.7\times10^{18}$ cm⁻³,$E_g = 0.67$ eV(300K),含 $N_D = 5\times10^{15}$ cm⁻³、$N_A = 2\times10^9$ cm⁻³ 的Ge,求300K和500K时的 $n_0$、$p_0$。

解题过程

300K 情况

① 先求 $n_i$(300K):

$$n_i(300) = \sqrt{N_c N_v}\exp\!\left(-\frac{E_g}{2k_0T}\right) = \sqrt{1.05\times10^{19}\times5.7\times10^{18}}\exp\!\left(-\frac{0.67}{2\times0.026}\right)$$

$$= 7.74\times10^{18}\times e^{-12.88} = 7.74\times10^{18}\times2.55\times10^{-6} = 1.97\times10^{13} \text{ cm}^{-3}$$

② 判断温区:$N_D = 5\times10^{15}$ cm⁻³ $\gg n_i = 1.97\times10^{13}$ cm⁻³(大约250倍),且 $N_D \gg N_A = 2\times10^9$ cm⁻³,处于强电离饱和区

$$n_0 = N_D - N_A \approx N_D = 5\times10^{15} \text{ cm}^{-3}$$

$$p_0 = \frac{n_i^2}{n_0} = \frac{(1.97\times10^{13})^2}{5\times10^{15}} = \frac{3.88\times10^{26}}{5\times10^{15}} = 7.76\times10^{10} \text{ cm}^{-3}$$

500K 情况

① 求500K时 $N_c$、$N_v$:

$$N_c(500) = 1.05\times10^{19}\times\left(\frac{500}{300}\right)^{3/2} = 1.05\times10^{19}\times(1.667)^{3/2} = 1.05\times10^{19}\times2.151 = 2.26\times10^{19}$$

$$N_v(500) = 5.7\times10^{18}\times2.151 = 1.226\times10^{19} \text{ cm}^{-3}$$

② 求 $n_i$(500K)(设500K时 $E_g$ 约0.62 eV,题目若给出查图值直接用):

由图或计算,$n_i(500) \approx 2.2\times10^{16}$ cm⁻³(课件题目给出的典型值)

③ 判断温区:$n_i = 2.2\times10^{16}$ cm⁻³ 与 $N_D = 5\times10^{15}$ cm⁻³ 量级相当($n_i > N_D$),处于过渡区(本征激发占主导)

$$n_0 = \frac{N_D}{2} + \sqrt{\left(\frac{N_D}{2}\right)^2 + n_i^2} = \frac{5\times10^{15}}{2} + \sqrt{(2.5\times10^{15})^2 + (2.2\times10^{16})^2}$$

$$= 2.5\times10^{15} + \sqrt{6.25\times10^{30} + 4.84\times10^{32}} = 2.5\times10^{15} + \sqrt{4.9025\times10^{32}}$$

$$= 2.5\times10^{15} + 2.214\times10^{16} = 2.464\times10^{16} \text{ cm}^{-3}$$

$$p_0 = \frac{n_i^2}{n_0} = \frac{(2.2\times10^{16})^2}{2.464\times10^{16}} = \frac{4.84\times10^{32}}{2.464\times10^{16}} = 1.965\times10^{16} \text{ cm}^{-3}$$

验证:$n_0 - p_0 = 2.464\times10^{16} - 1.965\times10^{16} = 0.499\times10^{16} \approx N_D = 5\times10^{15}$ ✓(略有舍入误差)

✎ 批注:这道题的精髓是温区判断,300K是饱和区,500K是本征区,两种情况计算方法完全不同。判断依据就是 $N_D$ 与 $n_i$ 的大小关系:$N_D \gg n_i$($>$10倍)→饱和区,直接取 $n_0 = N_D$;$N_D \approx n_i$(同数量级)→过渡区,联立方程;$N_D \ll n_i$ → 本征激发主导,$n_0 \approx p_0 \approx n_i$。

【题型18】扩散区线性分布的BJT基区问题

题目:NPN晶体管,基区宽度 $W_B = 2$ μm,基区空穴扩散长度 $L_p = 50$ μm(即 $W_B \ll L_p$)。发射结注入的非平衡少子(电子)边界浓度 $\Delta n(0) = 10^{15}$ cm⁻³,集电结处 $\Delta n(W_B) = 0$。求基区中电子浓度分布和扩散电流密度分布。($D_n = 25$ cm²/s)

解题过程

由于 $W_B \ll L_p$,复合可忽略,非平衡少子在基区呈线性分布

① 浓度分布(边界条件:$x=0$ 处 $\Delta n = 10^{15}$,$x=W_B$ 处 $\Delta n = 0$):

$$\Delta n(x) = (\Delta n)_0\left(1 - \frac{x}{W_B}\right) = 10^{15}\left(1 - \frac{x}{2\times10^{-4}}\right)$$

② 浓度梯度(在整个基区为常数,这是线性分布的特点):

$$\frac{d(\Delta n)}{dx} = -\frac{(\Delta n)_0}{W_B} = -\frac{10^{15}}{2\times10^{-4}} = -5\times10^{18} \text{ cm}^{-4}$$

③ 扩散电流密度(处处相等,无复合损耗):

$$J_n = qD_n\frac{d(\Delta n)}{dx} = 1.602\times10^{-19}\times25\times(-5\times10^{18}) = -20.025 \text{ A/cm}^2$$

电流方向为 $x$ 轴负方向(电子向集电区扩散,方向与 $x$ 轴正方向相反,但电流方向与电子扩散方向相反,即沿 $x$ 轴正方向),绝对值为约 $20$ A/cm²。

✎ 批注:$W_B \ll L_p$ 是BJT基区的关键条件,使基区中少子浓度近似为线性分布,复合极少,从而保证绝大多数注入少子能穿越基区到达集电结,实现电流放大。线性分布的特点是扩散电流处处相同(因为梯度是常数),这就是BJT中集电极电流与发射极电流之比(电流放大系数)与具体位置无关的根本原因。

附:各题型核心公式一览表

题型核心公式/步骤
由 $\rho$ 求 $n_i$$n_i = 1/[q\rho_i(\mu_n+\mu_p)]$
费米函数概率$f(E) = 1/[1+\exp((E-E_F)/k_0T)]$;反向求 $T$ 时取对数
本征 $n_i$$n_i = \sqrt{N_cN_v}\exp(-E_g/2k_0T)$;注意 $N_c,N_v \propto T^{3/2}$
强电离区 $E_F$$E_F - E_i = k_0T\ln(N_D/n_i)$(n型)
过渡区联立 $n_0 = N_D+p_0$ 和 $n_0p_0 = n_i^2$,解二次方程
补偿掺杂$p_0 = N_A - N_D$(受主占主导,全电离)
电导率$\sigma = q(n_0\mu_n+p_0\mu_p)$,$E = J/\sigma$
最小电导率$\sigma_{\min} = 2qn_i\sqrt{\mu_n\mu_p}$,当 $n = n_i\sqrt{\mu_p/\mu_n}$ 时
稳态注入$\Delta p = g_p\tau$
准费米能级$E_{Fn} = E_i + k_0T\ln(n/n_i)$;$E_{Fp} = E_i - k_0T\ln(p/n_i)$
扩散长度$L = \sqrt{D\tau}$;$D = \mu k_0T/q$
指数扩散$\Delta p(x) = (\Delta p)_0 e^{-x/L_p}$;表面电流 $J = qD(\Delta p)_0/L_p$
pn结 $V_D$$V_D = (k_0T/q)\ln(N_AN_D/n_i^2)$
耗尽层宽度$x_D = \sqrt{2\varepsilon_r\varepsilon_0(V_D-V)/q \cdot (N_A+N_D)/(N_AN_D)}$
肖克莱方程$J = J_s[e^{qV/k_0T}-1]$;$J_s = qD_pp_{n0}/L_p + qD_nn_{p0}/L_n$
势垒电容$C_T = \varepsilon_r\varepsilon_0 A/x_D$;反偏增大则 $C$ 减小
肖特基势垒$\phi_{B0} = \phi_m - \chi$;$V_{bi} = \phi_{B0} - \phi_n$

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